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TXRF 3760 系列日本理學RIGAKUT 全內反射 X 射線熒光光譜儀

更新時間：2025-04-23      瀏覽次數：29

TXRF 3760 系列

全內反射 X 射線熒光光譜儀

對晶圓表面的污染進行無損、非接觸式和高靈敏度分析

轉子式高功率 X 射線發生器和新設計的入射 X 射線單色器

過渡金屬 LLD 10 采用直接 TXRF 測量方法8 原子/厘米2達到水平。 在封閉 X 射線管測量時間的 1/3 內即可實現相同的精度，從而實現高通量。


TXRF 3760 表面污染計量系統


TXRF 3760 規格

產品名稱TXRF 3760 系列
技術全內反射 X 射線熒光 （TXRF）
用從 Na 到 You 的元素分析以測量晶圓污染
科技帶無液氮檢測器的 3 光束 TXRF 系統
主要組件適用于最大 200 mm 晶圓的 XYθ 樣品臺系統、真空晶圓中的機器人傳輸系統、ECS/GEM 通信軟件
選擇Sweep TXRF 軟件（能夠映射晶圓表面的污染物分布以識別“熱點"）。 ZEE-TXRF 功能可實現零邊沿排除測量）
控制 （PC）內部 PC、MS Windows®作系統
本體尺寸1000 （寬） x 1760 （高） x 948 （深） 毫米
質量100 kg（主機）
權力三相 200 VAC 50/60 Hz，100 A



電話：TEL

86-010-67868591

地址：ADDRESS

朝陽區住邦2000商務樓A座1號樓406B

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