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RIGAKUT日本理學XHEMIS TX-3000V 內置 VPD 的 TXRF 光譜儀

更新時間：2025-04-23      瀏覽次數：28

XHEMIS TX-3000V

內置 VPD 的 TXRF 光譜儀

超快速金屬污染分布驗證

VPD 的最高靈敏度

兼容最大 300 毫米的晶圓


XHEMIS TX-3000


XHEMIS TX-3000V 規格

技術全內反射 X 射線熒光光譜法 （TXRF） 與氣相分解 （VPD）
用微量元素表面污染測量 niyoru 1E7
原子/cm2 檢測限 標測速度提高約
3 倍
科技集成自動 VPD 制備、三光束激發和自動光學元件更換
主要組件三探測器配置：
高功率 W 與陰極 X 射線源（9 kW 旋轉與陰極） 3
種激發能量，針對輕元素、過渡元素和重元素
進行了優化 XYθ 樣品臺
雙 FOUP 負載端口
特征全晶圓映射 （SWEEPING-TXRF） 零
邊緣排除 （ZEE-TXRF） 集成
自動 VPD 預處理 （VPD-TXRF）
用于硅晶圓的雙 FOUP 加載端口，可實現最高靈敏度
選擇背面分析 （BAC-TXRF）
GEM300 軟件，E84/OHT 支持
氣相處理 （VPT-TXRF），以提高靈敏度，同時保留空間信息 VPD
用于親水性晶圓表面（例如 SiC）
本體尺寸1280 （W） x 3750 （D） x 2040 （H）
（不包括顯示器和信號塔）
測量結果定量結果、光譜圖、彩色等值線圖、映射表



電話：TEL

86-010-67868591

地址：ADDRESS

朝陽區住邦2000商務樓A座1號樓406B

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